Excimer Laser messen

Laser lassen sich in viele Kategorien einteilen: Nach Funktionsprinzip, Wellenlänge oder Ausgangsleistung. In diesem Blogbeitrag widmen wir uns der Gruppe der Excimer Laser. Ein Excimer Laser ist ein gepulster Laser, dessen Funktion auf dem Zusammenspiel zwischen Edelgasen und Halogengasen basiert, das über eine starke elektrische Spannung induziert wird. Die Laser emittieren Licht im UV-Wellenlängenbereich zwischen 193 und 351 mm.

Excimer Laser

Excimer Laser werden in zahlreichen industriellen, medizinischen und wissenschaftlichen Anwendungen genutzt.

Jahrzehntelang wurden sie für photolithographische Prozesse in der Mikroelektronik genutzt. Dabei wurde die Herstellung von Halbleiterplatinen immer feiner und deren Abmessungen immer kleiner.

Auch in anderen industriellen Prozessen wie der Laserbeschichtung, der Produktion von optischen Glasfaserkomponenten oder beispielsweise beim Lasermarkieren werden Excimer Laser genutzt. In der Ophthalmologie werden Excimer Laser eingesetzt, da es mit ihnen möglich ist, eine dünne organische Schicht zu entfernen, ohne die umliegenden Schichten durch die Hitze zu beschädigen. Excimer Laser eignen sich auch zur Behandlung verschiedener Hautkrankheiten und Hautverletzungen.
In der Wissenschaft finden sie Verwendung zum optischen Pumpen anderer Laser, bei Genveränderungen oder bei der Forschung zu bestimmten chemischen Materialeigenschaften.

Alle die genannten Beispiele haben eines gemeinsam: Sie erfordern eine sehr zuverlässige und wiederholbare Energie oder Leistung des Lasersystems – das gilt natürlich gerade bei der Anwendung am Auge!

An dieser Stelle betritt Ophir die Bühne: Die Anwender können aus einer großen Palette an NIST-rückführbarer Sensoren für die Messung von Leistung, Energie und Form der Excimer Laser wählen, die den aktuellen Industriestandards (wie der ISO17025) entsprechen. Darüber hinaus werden die Sensoren auf Kundenwunsch in den weltweiten Ophir Service- und Kalibrierzentren auf eine individuell gewünschte Wellenlänge (z.B. 193 oder 248 mm) sehr präzise kalibriert.

Messung von Excimer Lasern

Die Messung von Excimer Lasern stellt eine Herausforderung dar, da das Licht auf dem Weg zum Sensor mit der Luft reagiert und sich damit die Ergebnisse ändern. Dieser weitere Blogpost verrät mehr zu diesem Thema.

Auf unserer Webseite erfahren Sie mehr zu den thermischen Ophir Sensoren, den Laserenergie- Sensoren und den Lösungen zur Strahlprofilanalysen auch für Excimer Laser. Gerne beantworten wir individuelle Fragen persönlich.