熱センサーによるレーザー出力の測定

レーザー出力を測定するには多くの方法があります。フォトダイオード、サーモパイル、パイロエレクトリックセンサーなどが使用できます。この投稿では、サーモパイルを使用してレーザーを測定する方法（基本のみ）と、サーモパイルに適したレーザーの種類について説明します。

測定メカニズム

サーモパイルは、サーマルディスクが入射レーザーパワーによりどれだけ加熱されたかを測定することにより、間接的にレーザーを測定します。熱流の測定はレーザー出力に正比例し、丁寧な較正によって確認されます。

レーザーの種類

熱センサー は、次の中〜高出力レーザーの測定に最適です。

• マイクロワットから数十kWのパワー
• 通常、UVから中赤外または遠赤外までの広い波長範囲（10.6ミクロンの波長など）
• それぞれのセンサーのダイナミックレンジは約3桁

強み

サーモパイルセンサーは、あらゆるタイプのほとんどのパワーに対応できます。また、角度および波長の依存性が低く、一部のタイプのレーザーを正確に測定することが容易です。

その他の検討事項

サーモパイルセンサーの応答時間は比較的遅いです。通常で、1秒未満（ローパワーにおいて）から数秒の間であり、パワーの増加と共に遅くなります。

サーモパイルの仕組みと、精度を向上させるためのより詳細な対策については、 この投稿をお読みください。